| 主权项 |
1.一种电激发光显示板之制造方法,系在玻璃基板上以矩阵配置EL元件之EL显示板之制造方法,其特征为:为形成EL元件之蒸镀元件层而以蒸发源将蒸镀元件材料蒸发,并蒸镀于玻璃基板上之际,采用由热膨胀系数对玻璃基板之膨胀系数为160%以下、30%以上之材料所构成之蒸镀遮罩,并将该蒸镀遮罩配置于前述蒸发源与前述玻璃基板之间,而在进行前述蒸镀元件材料之蒸镀的同时,使前述蒸镀元件层形成图案。2.一种蒸镀遮罩,系具有开口部俾选择性地使来自蒸发源之蒸发物质通过,而使电激发光元件之蒸镀元件层以所希望之图案形成在玻璃基板上的蒸镀遮罩,于前述玻璃基板上形成前述蒸镀元件层之际,将该蒸镀遮罩配置于前述蒸发源与前述玻璃基板间,其特征为:该蒸镀遮罩系由热膨胀系数对玻璃基板之膨胀系数为160%以下、30%以上之材料所构成。3.如申请专利范围第1项之电激发光显示板之制造方法,其中,前述蒸镀遮罩之材料系为含有镁与镍之合金。4.一种电激发光显示板之制造方法,系于玻璃基板上以矩阵配置电激发光元件之电激发光显示板之制造方法,其特征为:为形成前述电激发光元件之蒸镀元件层而以蒸发源将蒸镀元件材料蒸发,并蒸镀于玻璃基板上之际,采用由热膨胀系数对玻璃之热膨胀系数为160%以下、30%以上之材料之蒸镀遮罩,至少于遮罩把持部,以采用具有对玻璃之热膨胀系数为160%以下、30%以上之热膨胀系数之材料之遮罩支持机构,将该蒸镀遮罩配置于前述蒸发源与前述玻璃基板间,并与前述蒸镀元件材料之蒸镀同时对前述蒸镀元件层进行图案化。5.如申请专利范围第4项之电激发光显示板之制造方法,其中,前述蒸镀遮罩以及前述遮罩执持部之材料系为含有镁与镍之合金。6.一种电激发光显示板之制造方法,系在玻璃基板上以矩阵配置电激发光元件之电激发光显示板之制造方法,其特征为:为形成前述电激发光元件之蒸镀元件层而以蒸发源将蒸镀元件材料蒸发,并蒸镀于玻璃基板上之际,至少于遮罩把持部,以采用具有对玻璃之热膨胀系数为160%以下、30%以上之热膨胀系数之材料之遮罩执持机构,将蒸镀遮罩配置于前述蒸发源与前述玻璃基板间,并与前述蒸镀元件材料之蒸镀同时对前述蒸镀元件层进行图案化。7.如申请专利范围第6项之电激发光显示板之制造方法,其中,前述遮罩执持部之材料系为含有镁与镍之合金。图式简单说明:第1图系说明本发明之实施型态之蒸镀步骤的图。第2图系显示本发明实施型态之蒸镀遮罩之平面构造一例。第3图系显示藉由本发明实施型态之方法所制造之有机EL显示面板之各像素之电路构成的图。第4图系显示藉由本发明实施型态之方法所制造之有机EL显示面板像素之部分剖视构造图。 |
