发明名称 Integrierte Schaltungsanordnung mit Kondensator und Herstellungsverfahren
摘要 Erläutert wird unter anderem eine integrierte Schaltungsanordnung (120), die einen Transistor (122), vorzugsweise einen sogenannten FinFET, und einen Kondensator (124) enthält. Die untere Elektrode des Kondensators (124) ist gemeinsam mit einem Kanalbereich des Transistors (122) in einem SOI-Substrat angeordnet. Die Schaltungsanordnung (120) ist einfach herzustellen und hat hervorragende elektronische Eigenschaften.
申请公布号 DE10248722(A1) 申请公布日期 2004.05.06
申请号 DE2002148722 申请日期 2002.10.18
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ROESNER, WOLFGANG;SCHULZ, THOMAS;HARTWICH, JESSICA;BREDERLOW, RALF;PACHA, CHRISTIAN
分类号 H01L21/336;H01L21/8242;H01L21/84;H01L27/06;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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