| 发明名称 |
Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003299630(A8) |
申请公布日期 |
2004.05.04 |
| 申请号 |
AU20030299630 |
申请日期 |
2003.10.10 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
ROBERT S. MCLEAN;PETER FRANCIS CARCIA |
| 分类号 |
C23C14/08;H01L21/336;H01L21/363;H01L21/365;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/363;H01L29/24 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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