发明名称 CASING FOR A PROJECTION LENS USED FOR MICROPHOTOGRAPHY PROVIDED WITH ADJUSTING SURFACE FOR MOUNTING AND ADJUSTING SAID CASING
摘要
申请公布号 AU2003258605(A1) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20030258605 申请日期 2003.08.13
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HUBERT HOLDERER;ULRICH WEBER;ALEXANDER KOHL
分类号 G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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