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发明名称
探测站及探测方法
摘要
一种探测站,包括:(a)平台,适于支持探测器,以供测试待测试元件;(b)支持件,适于支持在上面的待测试元件;(c)导电性构件;以及所进行的探测方法。
申请公布号
TW200406575
申请公布日期
2004.05.01
申请号
TW092101542
申请日期
2003.01.24
申请人
卡斯凯德微科技公司
发明人
纳那泰尔;佛勒克;斯提瓦特;罗尔德;斯宾塞;蓝波格;费希尔;麦克肯恩;詹斯
分类号
G01D11/30
主分类号
G01D11/30
代理机构
代理人
李志鹏
主权项
地址
美国
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