发明名称 探测站及探测方法
摘要 一种探测站,包括:(a)平台,适于支持探测器,以供测试待测试元件;(b)支持件,适于支持在上面的待测试元件;(c)导电性构件;以及所进行的探测方法。
申请公布号 TW200406575 申请公布日期 2004.05.01
申请号 TW092101542 申请日期 2003.01.24
申请人 卡斯凯德微科技公司 发明人 纳那泰尔;佛勒克;斯提瓦特;罗尔德;斯宾塞;蓝波格;费希尔;麦克肯恩;詹斯
分类号 G01D11/30 主分类号 G01D11/30
代理机构 代理人 李志鹏
主权项
地址 美国