| 摘要 |
本发明系提供一种正型感光性树脂组成物及图型之形成方法。该正型感光性树脂组成物可以使用一般浓度的氢氧化四甲基氨水溶液显像，具高感度、高解像度、可耐热性、平坦化性、透明性、低吸水性等优良的特性。而且本发明亦提供使用该组成物时具半圆形或梯形等任意截面图型之形成方法。本发明的正型感光性树脂组成物是包含有硷可溶性树脂、1，2–二叠氮(1，2–quinone–diazido)化合物、含2个以上的环氧基交链性化合物、界面活性剂。该硷可溶性树脂是含羧基丙烯酸酯单体、含羟基丙烯酸酯单体、N–取代马来醯亚胺必要成分的共聚合物。改变该组成物的后段烧培条件，可获得半圆形或梯形等任意截面的图形。 |
