辐射敏感性树脂组成物,形成图样化绝缘膜的方法,配有彼之主动矩阵基板及平面显示器,及制备平面显示器的方法

摘要

本发明提供一种辐射敏感性树脂组成物，由彼形成图样化绝缘膜具有可容易作高精密拒水性变化，使用此组成物以形成图样化绝缘膜的方法，使用组成物的显示元件及平面显示器，及制备平面显示器的方法。此树脂组成物包含特定比例的(A)硷可溶解的共聚物，(B)1，2－二叠氮化合物及(C)拒水性矽氧烷树脂。在形成图样化绝缘膜的制作方法中，系在树脂组成物形成的涂层上执行图样的曝光与显影。显示元件与平面显示器系配有使用此树脂组成物形成的层间绝缘膜。平面显示器的制作方法包含一项层间绝缘膜形成步骤，此步骤中包含图样化曝光处理，在一次曝光之中将导体层形成区域曝光，仅将其一部分表面层部分作硬化，且在其它部分中的全部厚度方向硬化；与一项导体层形成步骤，此步骤中采用液体材料在层间绝缘膜之表面上形成导体层。