| 主权项 |
1.一种真空泵,其经由转轴(19,20)之转动而操作一个泵室(39-43)中之气体输送体(23-32)而抽出气体,真空泵之特征为具有:一个油室外壳件(14,33),其中油室外壳件(14,33)形成一个邻近泵室(39-43)之油区(331),并且转轴(19,20)有一个突出部份从泵室(39-43)经油室外壳件(14,33)而突出到油区(331);一个塞件(67,68,72,78,75),其具有周面(671,681,721,781,751),其中塞件(67,68,72,78,75)被装在转轴(19,20)上与转轴(19,20)成一体旋转,其被用来防止油进入泵室(39-43)中;以及一个用来收集油之环状油室(70,71,73,79),其中环状油室(70,71,73,79)位于转轴(19,20)之轴心(191,201)之周围,而围住塞件(67,68,72,78,75)之周面(671,681,721,781,751)。2.如申请专利范围第1项之真空泵,其中塞件(67,68,72,78)为多数个塞件(67,68,72,78)中之一个,其每一个具有一个周面(671,681,721,781),该周面(671,681,721,781)具有不同的直径,其等为逐渐地从油区(331)朝向泵室(39-43)增加。3.如申请专利范围第2项之真空泵,其中油室(70,71,73,79)为多数个油室(70,71,73,79)中之一个,其每一个对应于周面(671,681,721,781)中之一个,该油室(70,71,73,79)形成较靠近泵室(39-43)之侧,泵室(39-43)系通到从较靠近泵室(39-43)之侧延伸到较靠近油区(331)之侧的弯曲路径。4.如申请专利范围第3项之真空泵,其中弯曲路径具有径向延伸之油进入通道(g1,g2,g3),该油进入通道(g1,g2,g3)连接一个相邻成对之油室(70,71,73,79)。5.如申请专利范围第4项之真空泵,其中油进入通道(g1,g2,g3)在转轴(19,20)之轴方向上比油室(70,71,73,79)狭窄。6.如申请专利范围第1项之真空泵,其中形成有弯曲路径,该弯曲路径是从较靠近泵室(39-43)之侧延伸到较靠近油区(331)之侧,并且被连接到油室(70,71,73,79),该塞件(67,68,72,78,75)被配置成可使路径的出口变窄。7.如申请专利范围第1至6项中任一项之真空泵,其中更包括有一个排放通道(74),其被连接到一个从油室(70,71,73,79)内壁流动之油可被收集之区域,该排放通道(74)将油室(70,71,73,79)连接到油区(331),以输送油到油区(331)中。8.如申请专利范围第7项之真空泵,其中排放通道(74)被连接到油室(70,71,73,79)之最低部份。9.如申请专利范围第8项之真空泵,其中排放通道(74)成相对水平,或者向下朝向油区(331)倾斜。10.如申请专利范围第1至6项中任一项之真空泵,其中油区(331)容纳有一个轴承(37),其为可旋转地支持着转轴(19,20)。11.如申请专利范围第1至6项中任一项之真空泵,其中更包括有:一个环状轴封(49,50),其被装设在突出部份周围而随着转轴(19,20)成一体旋转,该轴封(49,50)装设成比塞件(67,68,72,78,75)更靠近泵室(39-43),并且有第1密封形成表面(492,502)延伸于轴封(49,50)之径向上;一个第2密封形成表面(472,482)形成于油室外壳件(14,33)上,该第2密封形成表面(472,482)面对第1密封形成表面(492,502),并且与第1密封形成表面(492,502)平行;以及一个非接触式密封(57,58),其位于第1与第2密封形成表面(492,502,472,482)之间。12.如申请专利范围第1至6项中任一项之真空泵,其中更包括有:一个密封面(471,481)位于油室外壳上;一个环状轴封(49,50),其被装设在突出部份周围而随着转轴(19,20)成一体旋转,该轴封(49,50)装设成比塞件(67,68,72,78,75)更靠近泵室(39-43),该轴封(49,50)包含有泵唧装置被装在轴封(49,50)之一个面对密封面(471,481)之表面上,该泵唧装置使轴封(49,50)之一个表面与密封面(471,481)之间的油从较靠近泵室(39-43)之侧被引导朝向油区(331)。13.如申请专利范围第1至6项中任一项之真空泵,其中转轴为多数个平行转轴(19,20)中之一个,一个齿轮机构(34,35)连接在转轴(19,20)之间,使转轴(19,20)成一体地旋转,并且齿轮机构(34,35)被装设在油区(331)中。14.如申请专利范围第10项之真空泵,其中多数个转子(23-32)被形成在每一个转轴(19,20)周围,每个转子(23-32)可做为气体输送体之功能,并且一个转轴之转子可与另一个转轴之转子衔接。图式简单说明:第1(a)图为本发明第1实施例之多段式鲁氏泵之横剖面平面图。第1(b)图为第1(a)图中所显示之泵的放大局部横剖面图。第2(a)图为沿着第1(a)图中2a-2a线截取之横剖面图。第2(b)图为沿着第1(a)图中2b-2b线截取之横剖面图。第3(a)图为沿着第1(a)图中3a-3a线截取之横剖面图。第3(b)图为沿着第1(a)图中3b-3b线截取之横剖面图。第4(a)图为沿着第3(b)图中4a-4a线截取之横剖面图。第4(b)图为第4(a)图之放大横剖面图;第5(a)图为沿着第3(b)图中5a-5a线截取之横剖面图。第5(b)图为第5(a)图之放大横剖面图。第6(a)图为第1(a)图中所显示之泵的放大横剖面图。第6(b)图为第6(a)图之放大横剖面图。第7图为显示第1(a)图中所显示之泵的后壳件之局部、第1轴封及泄露防止环之立体剖面图;第8图为显示第1(a)图中所显示之泵的后壳件之局部、第2轴封及泄露防止环之立体剖面图。第9图为本发明第2实施例之放大横剖面图。第10图为本发明第3实施例之放大横剖面图。 |
