发明名称 衰减不等于所使用波长之波长之衰减器
摘要 本发明关于一衰减器,用以衰减与使用波长不相等之波长之电磁辐射,具有至少一光栅元件,该光栅元件包含光栅沟槽导致至少一光栅周期。本发明之特征为至少一光栅周期甚大于使用波长。
申请公布号 TW200406822 申请公布日期 2004.05.01
申请号 TW092121069 申请日期 2003.07.31
申请人 卡尔蔡司半导体制造科技有限公司 发明人 沃夫冈 辛尔
分类号 H01L21/027;G02B5/18 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 德国