| 主权项 |
1.一种位置检测装置,其特征在于具备: 针对叠合相同基准模板时之两者的一致位置及其 附近位置,取得一致量的机构; 根据前述一致位置及其附近位置的一致量,来算出 一致判别値的机构; 针对前述基准模板与输入影像之一致量,取得两者 之一致量变成极大之位置及其附近位置的机构;以 及 当在前述附近位置之一致量之降低程度(相对于前 述基准模板与输入影像之一致量的极大値)比前述 一致判别値大时,将前述一致量变成极大之位置判 定为基准模板与输入影像之一致位置之机构。2. 一种位置检测方法,其特征在于:针对叠合相同基 准模板时之两者的一致位置及其附近位置,取得一 致量;根据前述一致位置及其附近位置的一致量, 来算出一致判别値;针对前述基准模板与输入影像 之一致量,取得两者之一致量变成极大之位置及其 附近位置;当在前述附近位置之一致量之降低程度 (相对于前述基准模板与输入影像之一致量的极大 値)比前述一致判别値大时,将前述一致量变成极 大之位置判定为基准模板与输入影像之一致位置 。图式简单说明: [图1] 系表示有关本发明实施形态之打线装置之概 略构成的方块图。 [图2] 系表示自己相关曲线图。 [图3] 系表示模板影像之储存及判定是否适合之处 理的流程图。 [图4] 系表示使用图案匹配之位置检测,及判定所 得之位置是否良好之处理的流程图。 [图5] 系将模板影像与输入影像之判定一致的其他 方法以C语言数学式表示的说明图。 [图6] 系表示对XY方向呈斜方向之长图案的说明图 。 [图7] 系表示针对环状领域算出一致量之步骤的说 明图。 |
