发明名称 具对称型发亮图案之阵列式工件的自动对正、采样方法
摘要 本发明是在提供一种自动对正、采样方法,该方法是运用于一切割机,该切割机包含一可供一具有多数发亮图案的工件置放的切割工作台、一摄影机、一处理器,透过该摄影机可拍摄存取该工件影像,以使该处理器利用影像处理选取出至少二完整的发亮图案,而该处理器可计算任二发亮图案中心点间距,并对数不同规格参数取余数,若某一规格参数所取得小于一预设值的余数的总数量是多于其他参数,则该规格参数为该工件的规格,且该处理器可驱动该切割工作台转动,以使余数最小的一组发亮图案转动至与该切割工作台的移动方向平行。
申请公布号 TW586172 申请公布日期 2004.05.01
申请号 TW091124243 申请日期 2002.10.21
申请人 优力特科技股份有限公司 发明人 徐秋田;赖能辉
分类号 H01L21/66;H01L21/304 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种具对称型发亮图案之阵列式工件的自动对 正、采样方法,该方法是运用于一切割机,该切割 机包含一可沿X轴方向左右移动且可绕Z轴方向自 转的切割工作台、一可沿Y轴方向前后移动且可沿 Z轴方向上下移动的刀组、一可与该刀组同步沿Y 轴方向前后移动的摄影机、一中央处理器,及一与 该中央处理器连结的显示器,该切割工作台是可供 置放一待切割的阵列式工件,该工件具有多数呈阵 列式排列的对称型发亮图案,该中央处理器是可操 控驱动该切割工作台、该刀组与该摄影机,该方法 包含以下步骤: 一、拍摄取像:透过该摄影机拍摄存取该工件的影 像,使该中央处理器利用影像处理可选取出至少二 完整的发亮图案; 二、计算规格间距:使该中央处理器计算任二发亮 图案中心点间的间距,并将任二发亮图案的间距分 别对数个预设的不同规格参数取余数,且,分别统 计每一规格参数所取得且小于一预设値的余数的 总数量,若其中一规格参数所取得小于该预设値的 余数的总数量是多于其他规格参数,则判定该规格 参数为该工件的规格; 三、对正:使该中央处理器判断并选取对该规格参 数所取余数为最小的其中一组发亮图案,则该中央 处理器会驱动该切割工作台带动该工件绕Z轴方向 转动,以使该组发亮图案转动至与X轴方向平行,如 此,即可使该工件自动对正。2.依据申请专利范围 第1项所述之具对称型发亮图案之阵列式工件的自 动对正、采样方法,更包含一采样步骤,当该工件 自动对正后,该中央处理器可选取该组发亮图案的 其中一者作为一参考样本,并将其影像存取于该中 央处理器。3.依据申请专利范围第1项所述之具对 称型发亮图案之阵列式工件的自动对正、采样方 法,其中,当在进行步骤一时,若无法选取到至少二 完整的发亮图案,该中央处理器可驱动该切割工作 台沿X轴方向平移,及驱动该摄影机沿Y轴方向平移, 以使该摄影机可拍摄到至少二完整的发亮图案。4 .一种具对称型发亮图案之阵列式工件的自动对正 、采样方法,该方法是运用于一切割机,该切割机 包含一可沿X轴方向左右移动且可绕Z轴方向自转 的切割工作台、一可沿Y轴方向前后移动且可沿Z 轴方向上下移动的刀组、一可与该刀组同步沿Y轴 方向前后移动的摄影机、一中央处理器,及一与该 中央处理器连结的显示器,该切割工作台是可供置 放一待切割的阵列式工件,该工件具有多数呈阵列 式排列的对称型发亮图案,该中央处理器是可操控 驱动该切割工作台、该刀组与该摄影机,该方法包 含以下步骤: 一、拍摄取像:透过该摄影机拍摄存取该工件的影 像,使该中央处理器利用影像处理可选取出至少二 完整的发亮图案; 二、计算规格间距余数:使该中央处理器计算任二 发亮图案中心点间的间距,并将任二发亮图案的间 距对一个预设的规格参数取余数; 三、对正:使该中央处理器判断并选取对该规格参 数所取余数为最小的其中一组发亮图案,则该中央 处理器会驱动该切割工作台带动该工件绕Z轴方向 转动,以使该组发亮图案转动至与X轴方向平行,如 此,即可使该工件自动对正。5.依据申请专利范围 第4项所述之具对称型发亮图案之阵列式工件的自 动对正、采样方法,更包含一采样步骤,当该工件 自动对正后,该中央处理器可选取该组发亮图案的 其中一者作为一参考样本,并将其影像存取于该中 央处理器。6.依据申请专利范围第4项所述之具对 称型发亮图案之阵列式工件的自动对正、采样方 法,其中,当在进行步骤一时,若无法选取到至少二 完整的发亮图案,该中央处理器可驱动该切割工作 台沿X轴方向平移,及驱动该摄影机沿Y轴方向平移, 以使该摄影机可拍摄到至少二完整的发亮图案。 图式简单说明: 第一图是习知一种晶圆切割机之立体外观示意图; 第二图是该切割机拆除一外部壳体后的立体示意 图; 第三图是该切割机之系统连结示意图; 第四图是一平面示意图,说明该切割机一显示器显 示一置放于一切割工作台上的晶圆的局部影像; 第五图是一平面示意图,说明该晶圆经人工对正完 成后,显示于该显示器上的局部影像; 第六图是习知一种LED灯泡的剖视示意图; 第七图是习知一种LED晶圆的平面示意图; 第八图是本发明自动对正、采样方法的一第一较 佳实施例的流程图; 第九图是一类似第二图的视图,说明将一LED晶圆置 放于该切割工作台上; 第十图是该第一较佳实施例拍摄取像与计算规格 间距的平面视意图; 第十一图是该第一较佳实施例对正的平面视意图; 第十二图是该第一较佳实施例采样的平面视意图; 及 第十三图是本发明自动对正、采样方法的一第二 较佳实施例的流程图。
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