| 发明名称 |
CATADIOPTRIC PROJECTION LENS AND METHOD FOR COMPENSATING THE INTRINSIC BIREFRINGENCE IN A LENS OF THIS TYPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003254550(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.30 |
| 申请号 |
AU20030254550 |
申请日期 |
2003.07.21 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
MICHAEL ALBERT;VLADIMIR KAMENOV |
| 分类号 |
G02B17/08;G03F7/20;(IPC1-7):G02B17/08 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
