| 发明名称 |
ETCHANT AND ETCHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003252362(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.30 |
| 申请号 |
AU20030252362 |
申请日期 |
2003.08.04 |
| 申请人 |
DAIKIN INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
MITSUSHI ITANO;TAKASHI KANEMURA;HIROSHI MOMOTA;DAISUKE WATANABE |
| 分类号 |
C09K13/04;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C09K13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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