| 发明名称 |
Anlage zur Bearbeitung von Wafern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19922936(B4) |
申请公布日期 |
2004.04.29 |
| 申请号 |
DE19991022936 |
申请日期 |
1999.05.19 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KLAEBSCH, ROLF-ARNO;HUBER, RONALD |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):B65G49/07;B65G43/08;H01L21/18;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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