化学机械研磨装置用研磨浆调制供给装置和方法

摘要

提供一种研磨浆调制供给装置及方法，即使在从暂时停止的状态再开始供给研磨浆时的初始阶段，也可以高精度地维持研磨浆的混合比例。该研磨浆调制供给装置包括分别用于吸引所述各液的对应于各液数目的吸引口、以及向化学机械研磨装置供给研磨浆的排出口；在从各吸引口至排出口的各液的供给路径上，从各吸引口按基于混合比例的特定量吸引各液，分别配置用于将吸引出的各液向排出口侧排出的供给泵，在各个供给泵的排出侧供给路径上同时设置阻尼器和加压阀，而且，设置用于测定来自设置于这些下流侧的各供给泵的排出量的流量计，以及使用来自该流量计的测定值来控制供给泵的排出流量的运算－控制电路。

主权项

1.一种研磨浆调制供给装置，在化学机械研磨装置(17)中，用于供给按期望的混合比例混合的至少包含磨粒微粒分散液和添加剂溶液的研磨浆，其特征在于：包括分别用于吸引所述各液的对应于各液数目的吸引口(3)、以及向所述化学机械研磨装置(17)供给研磨浆的排出口(18)；在从所述各吸引口(3)至排出口(18)的各液的供给路径上，从各吸引口(3)按基于所述混合比例的特定量吸引各液，分别配置用于将吸引出的各液向所述排出口(18)侧排出的供给泵(5)，在各个供给泵(5)的排出侧供给路径上同时设置阻尼器(6)和加压阀(7)，而且，设置用于测定来自设置于这些下流侧的各供给泵(5)的排出量的流量计(8)，以及使用来自该流量计(8)的测定值来控制所述供给泵(5)的排出流量的运算-控制电路(16)。