| 发明名称 | 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪 | ||
| 摘要 | 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪，属于光学冷加工技术领域中的一种对抛光液膜厚度的测量装置。本发明要解决的技术问题是如何使液膜厚度的变化，转变为下反射镜相对于上反射镜转动的角度变化。解决技术问题的技术方案是：在变角式双反射镜中，采用轻质滑座托起顶杆支撑带有光滑转轴的下反射镜绕转轴转动的结构，通过反射面相对安装的变角式双射镜多次反射射出的激光束，由毛玻璃接收显示。本发明是由抛光系统和测量系统组成的，测量系统安装在抛光系统中被抛光件运动方向的后面。该装置可以实时动态测量液膜厚度，及时调节液膜厚度，改善超光滑表面抛光条件，提高工作效率，保证抛光质量。 | ||
| 申请公布号 | CN1147706C | 申请公布日期 | 2004.04.28 |
| 申请号 | CN02109013.0 | 申请日期 | 2002.01.07 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 王君林;徐长山 |
| 分类号 | G01B11/06;B24B13/00 | 主分类号 | G01B11/06 |
| 代理机构 | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘树清 |
| 主权项 | 1、一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪，包括抛光系统，其特征在于本发明还包括测量系统；测量系统安装在抛光系统中被抛光件(11)运动行进方向的后面，在测量系统中液膜(9)充满滑座(21)和锡磨盘(10)之间的缝隙，顶杆(20)的下端在滑座(21)的中心处与其垂直并牢固，上端与下反射镜(19)垂直并固牢，上反射镜(18)和下反射镜(19)的反射面相对安装，上反射镜(18)固定不动，下反射镜(19)在顶杆(20)的作用下绕转轴(14)转动，改变上反射镜(18)和下反射镜(19)之间的夹角，激光光源(17)的激光束在变角式双反射镜的右端射向下反射镜(19)，经变角式双反射镜多次反射后，从下反射镜(19)的左端射出，经平面反射镜(15)反射至观察屏(16)。 | ||
| 地址 | 130022吉林省长春市人民大街140号 | ||