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发明名称 APPARATUS FOR PARALLEL DETECTION OF THE BEHAVIOUR OF MECHANICAL MICRO-OSCILLATORS
摘要
申请公布号 EP1412728(A1) 申请公布日期 2004.04.28
申请号 EP20010992882 申请日期 2001.11.05
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 ROGER, JEAN-PAUL;BOCCARA, ALBERT, CLAUDE;BERGAUD, CHRISTIAN;POTIER, MARIE-CLAUDE
分类号 G01B11/00;G01N27/00;G01Q20/02;G01Q60/24;G02B21/00;G02B27/28;(IPC1-7):G01N27/00;G01B7/34 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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