具有对准量测标记的光罩及其侦测方法

摘要

一种具有对准量测标记的光罩及其侦测方法，于每一光罩上均包括数个薄膜晶体管液晶显示器组件光罩图案以及一对准量测标记光罩图案，其中组件光罩图案是用以于一基板上的光阻曝光形成数个薄膜晶体管液晶显示器组件图案，且于组件光罩图案还包括一显示区；而对准量测标记光罩图案是位于显示区外围以及组件光罩图案内，以于基板上的光阻曝光形成一对准量测标记，借此侦测薄膜晶体管液晶显示器组件图案的层与层对准的精确度。

主权项

1、一种具有对准量测标记的光罩，其特征在于：其中每一光罩上包括：复数个组件光罩图案，于一基板上的光阻曝光形成复数个薄膜晶体管液晶显示器组件图案，其中该些组件光罩图案包括一显示区；一对准量测标记光罩图案，位于该显示区外围以及该些组件光罩图案内，以于该基板上的光阻曝光形成一对准量测标记，借此侦测该些薄膜晶体管液晶显示器组件图案的层与层对准的精确度。