发明名称 METHOD FOR COATING A SURFACE OF A SUBSTRATE WITH AN INSULATING MATERIAL BY SPUTTERING
摘要
申请公布号 US3485739(A) 申请公布日期 1969.12.23
申请号 USD3485739 申请日期 1966.05.25
申请人 INTERN. STANDARD ELECTRIC CORP. 发明人 PETER ALAN BIRRELL TOOMBS
分类号 C23C14/00;C23C14/08;C23C14/58;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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