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发明名称 METHODE, EINE LEITENDE SCHICHT ZU ÄTZEN
摘要
申请公布号 DE69819023(T2) 申请公布日期 2004.04.22
申请号 DE19986019023T 申请日期 1998.03.17
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 ARNETT, DAVID R.;MUSSER, V.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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