| 主权项 |
1.一种多反应室机台之反应室选择系统,包括: 一多反应室机台,用以将一晶圆批货进行处理; 一限制系统,用以监测该多反应室机台; 一跑货管理,由该限制系统中查询该多反应室机台 中之可用反应室; 一制造执行系统;以及 一设备伺服器,由该制造执行系统中查询相应该晶 圆批货之自动化制程序列名称,且由该多反应室机 台上载相应该自动化制程序列名称之一通用制程 序列内容,并依据跑货管理所查询之该可用反应室 修改该通用制程序列内容,且将修改之该通用制程 序列内容下载回该多反应室机台,致使该多反应室 机台依据修改之该通用制程序列内容选择可用反 应室以将该晶圆批货进行处理。2.如申请专利第1 项所述之多反应室机台之反应室选择系统,其中修 改该通用制程序列内容系将该通用制程序列内容 中该可用反应室之外的反应室删除。3.如申请专 利第2项所述之多反应室机台之反应室选择系统, 其中将该通用制程序列内容中该可用反应室之外 的反应室可透过修改反应室遮罩来删除。4.一种 多反应室机台之反应室选择方法,包括下列步骤: 透过一限制系统查询一多反应室机台中之可用反 应室; 由一制造执行系统中查询相应一晶圆批货之自动 化制程序列名称; 由该多反应室机台上载相应该自动化制程序列名 称之一通用制程序列内容; 依据该多反应室机台中之该可用反应室修改该通 用制程序列内容; 将修改之该通用制程序列内容下载回该多反应室 机台;以及 该多反应室机台依据修改之该通用制程序列内容 选择可用反应室以将该晶圆批货进行处理。5.如 申请专利第4项所述之多反应室机台之反应室选择 方法,其中修改该通用制程序列内容系将该通用制 程序列内容中该可用反应室之外的反应室删除。6 .如申请专利第5项所述之多反应室机台之反应室 选择方法,其中将该通用制程序列内容中该可用反 应室之外的反应室可透过修改反应室遮罩来删除 。7.一种纪录了用以使电脑达成多反应室机台之 反应室选择功能之程式之电脑可读取之纪录媒体, 达成该多反应室机台之反应室选择功能之方法包 括下列步骤: 透过一限制系统查询一多反应室机台中之可用反 应室; 由一制造执行系统中查询相应一晶圆批货之自动 化制程序列名称; 由该多反应室机台上载相应该自动化制程序列名 称之一通用制程序列内容; 依据该多反应室机台中之该可用反应室修改该通 用制程序列内容; 将修改之该通用制程序列内容下载回该多反应室 机台;以及 该多反应室机台依据修改之该通用制程序列内容 选择可用反应室以将该晶圆批货进行处理。8.如 申请专利第7项所述之电脑可读取之纪录媒体,其 中修改该通用制程序列内容系将该通用制程序列 内容中该可用反应室之外的反应室删除。9.如申 请专利第7项所述之电脑可读取之纪录媒体,其中 将该通用制程序列内容中该可用反应室之外的反 应室可透过修改反应室遮罩来删除。图式简单说 明: 第1图系显示依据本发明实施例之多反应室机台之 反应室选择系统之系统架构。 第2图显示依据本发明实施例之多反应室机台之反 应室选择方法之操作步骤。 第3图显示一制程序列例子。 第4图显示相应第3图中制程序列之一实际资料形 态。 |
