化学机械加工和表面精加工

摘要

在此描述的发明公开了一种化学机械加工和表面精加工方法。在一工件的表面形成了一转化涂层，并且通过该工件与工具之间的相对运动来去除它，从而暴露了该工件以进一步与该活性化学物质发生反应。使用较低的机械力，从而不超过该工件的塑性变形、剪切强度、抗拉强度和/或热降解温度。因为该化学机械加工和表面精加工方法需要很少的力和/或接触速度即可去除该转化涂层，所以设备的体积、复杂性和成本可以被明显减小，同时提高了加工精确度。本发明本身导致非常受控的金属去除速度，并且可以简单地表面精加工该工件，或必要时，可以在表面精加工该工件的同时进行成形和/或定尺。

主权项

1、一种方法，它包括：a.提供一工具；b.把一活性化学物质输入到一工件之上，所述活性化学物质能够与所述工件发生反应，从而在所述工件上形成一个转化涂层，所述转化涂层不溶于所述活性化学物质中，因而所述转化涂层保护所述工件不会进一步发生反应；和c.通过它们之间的相对运动而使该工具接触该工件，直到达到所述工件的预期表面特性为止；其中，该工具与所述工件之间的接触从所述工件上去掉了该转化涂层，结果招致该工件进一步与所述活性化学物质发生反应，结果，该转化涂层可以再次形成在该工件上。