| 发明名称 |
ELECTROSTATIC HOLDING DEVICE AND ELECTROSTATIC TWEEZERS USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003266610(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.19 |
| 申请号 |
AU20030266610 |
申请日期 |
2003.09.25 |
| 申请人 |
TSUKUBA SEIKO LTD. |
发明人 |
TAMAYA UBUKATA;FOW-LAI POH |
| 分类号 |
B23Q3/154;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00;B65G49/07;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q3/154 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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