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发明名称 Verfahren zur Herstellung vertikaler Transistoren
摘要
申请公布号 DE69909205(T2) 申请公布日期 2004.04.15
申请号 DE19996009205T 申请日期 1999.08.17
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC., MURRAY HILL 发明人 HERGENROTHER, JOHN M.;MONROE, DONALD PAUL
分类号 H01L21/336;H01L29/161;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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