发明名称 FREE FLOATING SHIELD AND SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1055014(A4) 申请公布日期 2004.04.14
申请号 EP19980960728 申请日期 1998.12.04
申请人 SILICON VALLEY GROUP THERMAL SYSTEMS LLC 发明人 BARTHOLOMEW, LAWRENCE, D.;DE DONTNEY, JAY, B.;PEABODY, CHRISTOPHER, A.
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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