发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE NANO-STRUCTURE FILAIRE DANS UN FILM SEMI-CONDUCTEUR
摘要 L'invention concerne un procédé de fabrication de nano-structure filaire. Le procédé comprend les étapes suivantes :- fabrication d'un film mince semi-conducteur dopé (1) s'étendant entre une première borne (4) et une deuxième borne (5), et- passage d'un courant entre la première et la deuxième borne de façon à former au moins une surépaisseur continue (R1, R2, R3) dans le film mince semi-conducteur dopé, par migration, sous l'action du courant, d'une fraction du matériau semi-conducteur dopé, la surépaisseur continue se formant selon la direction du courant qui parcourt le film.L'invention s'applique à la conception de nano-circuits.
申请公布号 FR2845519(A1) 申请公布日期 2004.04.09
申请号 FR20020012235 申请日期 2002.10.03
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FRABOULET DAVID;GAUTIER JACQUES;TONNEAU DIDIER;CLEMENT NICOLAS
分类号 H01L;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/321;H01L21/326;H01L23/525;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/326 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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