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发明名称 Nitride and polysilicon interface with titanium layer
摘要
申请公布号 AU2003273328(A8) 申请公布日期 2004.04.08
申请号 AU20030273328 申请日期 2003.09.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LARRY CLEVENGER;OLEG GLUSCHENKOV;CYRIL JR. CABRAL;ROY C. IGGULDEN;YUN-YU WANG;KWONG HON WONG;IRENE MCSTAY;RONALD J. SCHUTZ;WERNER ROBL;RAJEEV MALIK
分类号 H01L;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/4763;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/40;H01L29/51;H01L29/78 主分类号 H01L
代理机构 代理人
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