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发明名称 METHOD FOR SUPPORTING SUBSTRATE, SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 AU2003298996(A1) 申请公布日期 2004.04.08
申请号 AU20030298996 申请日期 2003.07.10
申请人 SENDAI NIKON CORPORATION 发明人 HIDEKAZU KIKUCHI
分类号 H01L21/683;G03F7/20;H01J37/20;H01L21/027;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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