| 发明名称 |
Selective diffusion technique |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3108915(A) |
申请公布日期 |
1963.10.29 |
| 申请号 |
US19610121067 |
申请日期 |
1961.06.30 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES INCORPORATED |
发明人 |
LIGENZA JOSEPH R.;SHAPIRO HERBERT M. |
| 分类号 |
C23C16/04;C30B31/18;G03F1/08;G03F7/004;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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