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发明名称
摘要
申请公布号 JP3515615(B2) 申请公布日期 2004.04.05
申请号 JP19940213758 申请日期 1994.09.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/768;H01L23/48;H01L23/522;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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