| 摘要 |
本发明提供，在1GHz以上之高周波区域，特别是10GHz以上之高周波区域，可用以测定电阻之异方性导电板；同时，在1GHz以上之高周波区域，特别是10GHz以上之高周波区域，测定电阻时，可抑制在被测定基板上发生损伤，同时能获得高可靠性之电阻测定用探针。本发明之异方性导电板为，在由弹性高分子物质所成板基体中，含有显示磁性之导电性粒子分散于面方向，于较厚方向呈现排成行列之定向状态所成的异方性导电板；其特征为厚度在10～100μm之范围，显示磁性之导电性粒子的数平均粒子径为5～50μm，同时，厚度W1与显示磁性之导电性粒子的数平均粒子径D之比率W1／D为1.1～10；显示磁性之导电性粒子的含有率为10～40重量％，可使用于高周波区域之电阻测定。本发明之电阻测定用探针，其特征为具备上述之异方性导电板，能使用于高周波区域。 |
