| 摘要 |
本发明提供一种基板处理装置，其具有从处理线其中一处朝另一处搬运基板的功能，且可在搬运中有效率地处理基板。基板处理装置(10)由框体状壳体(11)、处理机构(20)和昇降机构(40)构成。壳体(11)具有在上下处并设的基板投入口(11a)和基板排出口(11b)。处理机构(20)内装于壳体(11)内，包括：收纳并支撑从基板投入口(11a)搬入的基板、从基板排出口(11b)排出基板的搬运支撑机构；支撑搬运支撑机构的支撑架台(21)；使搬运支撑机构支撑的基板倾斜的基板倾斜机构；设于搬运支撑机构上方、将处理流体喷到藉基板倾斜机构而倾斜的基板上的处理流体喷出机构。昇降机构(40)支撑处理机构(20)并使其沿上下方向昇降，使处理机构(20)经过基板投入口(11a)和基板排出口(11b)。 |
