绕射光学元件、照明光学装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

一种照明光学装置，系使用在照明光瞳面形成实质上均一分布之4极状绕射光学元件，而能在抑制光量损失之同时进行良好的4极照明。系一种用来照明被照射面(13，15)之照明光学装置。为了在照明光瞳面形成具有4极状光强度分布之二次光源，具备用来将入射光束转换为4个光束的绕射光学元件(61)。绕射光学元件中，第1基本绕射光学元件、第2基本绕射光学元件、第1补全光学元件、与第2补全光学元件系同数紧密排列。