正型光阻组合物

摘要

本发明系提供一种光阻组合物，该组合物包括一用以形成光阻层之聚合物树脂、一用以曝于某种型式之辐射时改变光阻层溶解度之光敏剂，及作为溶剂之乙酸3-甲氧丁酯、2-庚酮及4-丁内酯。此组合物具有良好的感光速度及残膜率，及不具有令人不悦的恶臭。

主权项

1.一种正型光阻组合物,其包括:用以形成光阻层之聚合物树脂;用以曝于某种型式之辐射时改变光阻层溶解度之光敏剂;及作为溶剂之乙酸3-甲氧丁酯、2-庚酮及4-丁内酯,其中乙酸3-甲氧丁酯:2-庚酮:4-丁内酯之比例为50至70重量之乙酸3-甲氧丁酯:5至15重量之2-庚酮:2至10重量之4-丁内酯,且该光阻组合物中含有10重量%至25重量%之聚合物树脂,4重量%至10重量%之光敏剂,及65重量%至85重量%之溶剂。2.根据申请专利范围第1项之组合物,其中聚合物树脂为线型酚醛清漆树脂及光敏剂为二叠氮基之化合物。