含有碘及碘之蒸气陷获剂(IODINE VAPOR-TRAPPING AGENT)之化学机械研磨组合物

摘要

本发明提供一种化学机械研磨系统，及一种使用此系统之研磨方法，其包含(a)磨料、研磨垫、或磨料与研磨垫两者，(b)碘，(c)碘之蒸气陷获剂，及(d)液态载剂。