| 摘要 |
本发明提供一种可以防止随着磨粉的产生对于基板或基板处理用无尘环境污染之基板收纳容器。具备：对齐收容复数片基板之前开式箱型容器主体；可以密封关闭该容器主体开口正面之盖体；及分别嵌着于容器主体及盖体之设置部，用于调整盖体封密之容器主体内压之内压调整机构。并且内压调整机构系由：具有弹性之安装筒；嵌入安装筒保护之过滤器保持具；及保持于过滤器保持具内之复数过滤器所构成。只在容器主体及盖体上设置安装孔，而对于安装孔内弹性变形装卸构成简单之安装孔就可以设定该内压调整机构，不需设置加工费事之螺纹孔，成形容器主体之金属模构造不致复杂化。 |
