| 发明名称 |
Plasma polymerizing apparatus having an electrode with a lot of uniform edges |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU771642(B2) |
申请公布日期 |
2004.04.01 |
| 申请号 |
AU20000065994 |
申请日期 |
2000.08.14 |
| 申请人 |
LG ELECTRONICS INC. |
发明人 |
YOUNG-MAN JEONG;SU-WON LEE;DONG-SIK YOUN;SAM-CHUL HA |
| 分类号 |
C08G83/00;B05D7/24;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/32;H01L21/302 |
主分类号 |
C08G83/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
