用于在集成电路中形成电池的设备和方法

摘要

在集成电路内部提供电池(420)以便为集成电路内的低电流电子设备(900)提供电压的方法和结构。该方法包含在半导体晶片(402)上产生电子器件层(900)的前段制程(FEOL)处理，以及随后的将电子器件连接起来以形成集成电路的完整电路的后段制程(BEOL)集成。BEOL集成包含在电子器件层上形成接线层的多层结构。各个接线层包含嵌入绝缘材料中的导电金属(例如镀金属通孔、导电连线等等)。在一或多个接线层内的BEOL集成期间形成电池(420)，并且导电金属(432、434、442、444)将电池的正(424)和负(422)端子导电连接到电子器件(900)。相对于电池电极和电解质之间的结构和几何关系，电池(420)可以具有若干种不同的拓扑。可以在一或多个接线层内形成多个电池，并且多个电池可以被导电连接到电子器件。多个电池可以被串联或并联。

主权项

1.一种集成电路，包括：半导体晶片(402)；半导体晶片上的电子器件层(900)，其中电子器件层包含至少一个电子器件(410)；电子器件层上的多个接线层(901，...，900+N)，其中接线层包含第一导电金属(432，442)和第二导电金属(444，434)；和接线层内的至少一个电池(420)，使得第一导电金属将至少一个电池的第一电极导电连接到至少一个电子器件，其中第二导电金属将电池的第二电极导电连接到至少一个电子器件。