| 发明名称 |
CORRECTION DEVICE FOR CORRECTING CHROMATIC ABERRATION IN PARTICLE-OPTICAL APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0962025(B1) |
申请公布日期 |
2004.03.31 |
| 申请号 |
EP19980947712 |
申请日期 |
1998.10.22 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
TIEMEIJER, PETER, CHRISTIAAN |
| 分类号 |
H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
