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发明名称 APPARATUS FOR VACUUM VAPORIZATION
摘要
申请公布号 EP1402082(A1) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP20020745799 申请日期 2002.06.21
申请人 GALILEO VACUUM SYSTEMS S.R.L. 发明人 FUSI, ANDREA
分类号 C23C14/24;C23C14/26;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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