| 发明名称 |
RESIST AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003261921(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.29 |
| 申请号 |
AU20030261921 |
申请日期 |
2003.09.04 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
YUKINORI OCHIAI;MASAHIKO ISHIDA;JUNICHI FUJITA;TAKASHI OGURA;JUNJI MOMODA;EIJI OSHIMA |
| 分类号 |
G03F7/038;(IPC1-7):C07C43/225;G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/038 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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