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发明名称 IMPROVED METHOD OF FILLING SHALLOW TRENCHES
摘要
申请公布号 SG102561(A1) 申请公布日期 2004.03.26
申请号 SG19990006400 申请日期 1999.12.17
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD 发明人 VLADISLAV VASSILIEV;IGOR PEIDOUS
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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