物理汽相淀积靶及制造金属材料的方法

摘要

本发明涉及一种物理汽相淀积靶，该靶由面心立方单位晶格的金属或合金构成，其平均晶粒尺寸小于30微米，最好是小于1微米；并具有均匀的轴向或平面<220>晶体结构。本发明还公开了一种制造溅射靶的方法。该方法包括制备坯料；以预定的路径和次数进行等槽角挤压；并在等槽角挤压之后进行交叉轧制或锻造。

主权项

1.一种物理汽相淀积靶，该靶包括具有面心立方单位晶格的材料，该靶具有溅射表面，并包括：分布在整个溅射表面上的主<220>结晶晶体结构；以及整个溅射表面上的平均晶粒尺寸小于或等于约30微米。