用于研磨的无机氧化物颗粒淤浆及调节所述颗粒的磨蚀性的方法

摘要

用压热器处理多孔的、无机氧化物颗粒的淤浆，所述处理方法导致所述颗粒的磨损性增加，表现为当按标准抛光条件进行化学机械抛光时，被抛光基材的除去速率增加。本发明提供了具有新型磨损性的淤浆，具体地说，是以二氧化硅为基础的淤浆。颗粒磨损性的增加与颗粒表面积的减少有很大关系，其中表面积由氮气吸附法测定(BET法)。因此，通过采用加热无机氧化物颗粒的淤浆使其达到某BET表面积的方法可获得具有符合要求的磨损度的淤浆，而已经证实，BET法测定的比表面积与所需的磨损度有关。所得的淤浆可用于传统的抛光机。所述方法特别适合制备以二氧化硅为基础的研磨淤浆。

主权项

1.淤浆，包括(a)分散介质和(b)选自硅胶、热解法二氧化硅、沉淀法二氧化硅和氧化铝的多孔无机氧化物颗粒其中所述淤浆具有研磨性能，这样使用Strasbaugh 6CA抛光机和SUBA 500衬垫，固含量为12.6％(重量)和pH值为大约10.8的含有水和所述多孔无机氧化物颗粒的淤浆在2分钟的抛光时间及200psi-rpm下除去二氧化硅的速率至少为120纳米/分钟。