研磨用发泡膜片及其制造方法

摘要

本发明之目的，在于提供一种在使用平均粒径0.1微米以下之研磨粒子之游离磨粒研磨中，可以更高的研磨力来研磨成更平滑的研磨用发泡膜片及其制造方法者。本发明之解决手段为，在赋予一定形状膜片11之表面上涂敷以发泡性树脂所成之发泡性涂料，将该发泡性涂料予以湿式发泡，在赋予一定形状膜片之表面上形成发泡膜片10，从赋予一定形状膜片之表面剥离该发泡膜片，在发泡膜片之表面形成沿着赋予一定形状膜片之表面之形状之研磨面12而制造研磨用发泡膜片者。

主权项

1.一种研磨用发泡膜片之制造方法,其特征为:包括 : (1)在赋予一定形状膜片之表面涂敷以发泡性树脂 所成之发泡性涂料之过程; (2)以湿式发泡法发泡前述之发泡性涂料,在前述赋 予一定形状膜片之表面上形成发泡膜片之过程;以 及 (3)从前述赋予一定形状膜片之表面剥离前述发泡 膜片,在前述发泡膜片之表面形成沿着前述赋予一 定形状膜片之表面形状之研磨面之过程者。2.如 申请专利范围第1项之制造方法,其中前述赋予一 定形状膜片系使用塑胶膜片者。3.如申请专利范 围第1项之制造方法,其中前述发泡性树脂系使用 发泡性氨基甲酸乙酯树脂者。4.一种研磨用发泡 膜片,其特征为:系以如申请专利范围第1至3项中任 何一项之制造方法所制造之研磨用发泡膜片者。 图式简单说明: 第1图系显示剥离本发明之研磨膜片之放大剖视图 。 第2图(a)系显示两面研磨加工机之下部平台,而(b) 系显示两面研磨加工机之上部平台。