发明名称 METODO PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI A SEMICONDUTTORE
摘要
申请公布号 ITMI20021985(A1) 申请公布日期 2004.03.19
申请号 IT2002MI01985 申请日期 2002.09.18
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 DI DIO LUIGI
分类号 G03F7/09;G03F7/11;H01L;H01L21/027 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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