发明名称 |
METODO PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI A SEMICONDUTTORE |
摘要 |
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申请公布号 |
ITMI20021985(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
申请号 |
IT2002MI01985 |
申请日期 |
2002.09.18 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
DI DIO LUIGI |
分类号 |
G03F7/09;G03F7/11;H01L;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/09 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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