| 发明名称 |
Surface treatment of high-purity semiconductor bodies |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3171755(A) |
申请公布日期 |
1965.03.02 |
| 申请号 |
US19630281857 |
申请日期 |
1963.05.09 |
| 申请人 |
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
REUSCHEL KONRAD;GUTSCHE HEINRICH;KERSTING ARNO |
| 分类号 |
C01B33/035;C30B25/02;H01L21/00;H01L21/20 |
主分类号 |
C01B33/035 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
