System und Verfahren zum Verbessern von Justiermarken

摘要

Ein Halbleiterwafer umfaßt ein Halbleitersubstrat, eine Oberflächenjustiermarke (3), die auf der Halbleiteroberfläche sichtbar angeordnet ist, und mehrere Nanostrukturen (10) auf der Oberfläche der Oberflächenjustiermarke (3) mit einem mittleren Mittenabstand (p), der so ausgelegt ist, daß er den Reflexionsgrad der Oberflächenjustiermarke (3) für eine vorbestimmte Lichtbandbreite reduziert.