摘要 |
Erläutert wird unter anderem eine Sensoranordnung, mit einer Schichtfolge aus einem Haltesubstrat (50), einer Hilfsschicht (22), einer Erfassungsschicht (24) und einer Isolierschicht (40). Diese Sensoranordnung läßt sich insbesondere zum Erfassen einer Röntgenstrahlung einsetzen und besonders einfach herstellen.
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