| 发明名称 |
PHOTOMETER FOR MEASURING THIN LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU520695(B2) |
申请公布日期 |
1982.02.25 |
| 申请号 |
AU19770026259 |
申请日期 |
1977.06.21 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO. KG |
发明人 |
DR. H. SCHWIECKER;G. THORN;H-P. EHRL |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):G01B19/38;C23C13/00;C23C13/10;G01J1/04 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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